氮化硅粉合成炉
发布时间: 2022-10-13 17:45
本氮化硅合成炉,主要适用于硅粉与氮气在高温下合成氮化硅粉之用。是目前高纯氮化硅制备的首选生产性炉型,目前为国内外大多数氮化硅粉厂家使用。
设备技术参数
项目 | 内容 |
电源电压 | 380V*3相、50HZ |
额定功率 | 120KW(40KW*3) |
最高温度 | 1600℃ |
常用温度 | 0-1550℃ |
炉温均匀性 | ±5℃ |
工作尺寸 | 500*500*1500mm(W*H*L) |
极限真空度 | 10pa(空炉冷态经净化) |
控温方式 | 可编程程序化自动控制 |
控温方式 | 钨铼热电偶 |
控温精度 | ±1℃ |
电气连锁 | 超温、超压、过流、水欠压(流)连锁及报警 |
详情请与销售人员联系。