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Shanghai Alarge Furnace Co., Ltd
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氮化硅粉合成炉
    发布时间: 2022-10-13 17:45    

 

 

    本氮化硅合成炉,主要适用于硅粉与氮气在高温下合成氮化硅粉之用。是目前高纯氮化硅制备的首选生产性炉型,目前为国内外大多数氮化硅粉厂家使用。

 

设备技术参数

项目

内容

电源电压

380V*3相、50HZ

额定功率

120KW(40KW*3)

最高温度

1600℃

常用温度

0-1550℃

炉温均匀性

±5℃

工作尺寸

500*500*1500mm(W*H*L)

极限真空度

10pa(空炉冷态经净化)

控温方式

可编程程序化自动控制

控温方式

钨铼热电偶

控温精度

±1℃

电气连锁

超温、超压、过流、水欠压(流)连锁及报警

 

详情请与销售人员联系。


氮化硅粉合成炉


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