扩散泵是获得高真空的主要工具之一。它们操作简单，没有运动部件，相对便宜，维护很少且容易。
一、扩散泵清洗及清洗安全
1清洗扩散泵需要使用丙酮和乙醇，这两者都均有毒且易爆。开始清洗之前，请注意下列信息:
1.1在加热、喷洒或暴露于高温仪器时，这些溶剂变得易燃易爆，会导致严重的伤害或死亡。
1.2在加热或喷洒时，丙酮或乙醇还会变得比空气重4到5倍，会向下流动进入油罐、凹处和较低的区域而排挤掉空气，因此可能造成维修人员窒息死亡。丙酮、 乙醇和其他溶剂是刺激剂、麻醉剂、抑制剂，并具有致癌性。 吸入和摄入这些溶剂会对人体产生严重的影响。 皮肤长期或持续接触将导致其通过皮肤吸收 并产生一定的毒性。
二、由于泵油逐渐变质，可能需要对泵进行彻底清洗。因此有必要从系统中取下泵。
要清洗已安装的泵,请遵循泵的关机程序：
1.拆下所有水冷管线并切断泵加热器的初级电路电源
2.放出所有泵油。
3.拧下泵入口和前级管道连接螺栓并从系统中取下泵。
4.卸下水冷帽（如果适用）。
5.按照具体型号泵操作手册中所述的方法卸下喷嘴组件。
6.使用丙酮仔细清洗泵体内部，并用异丙醇冲洗。然后用干净、干燥、无油压缩空气将泵吹干。
7.使用丙酮仔细清洗喷嘴组件。用异丙醇擦拭所有表面，并用干净、干燥、无油压缩空气将其吹干。
8.重新将喷嘴和水冷帽装到泵体上。确保喷嘴与前级系统准确对齐（如果适用）。
9.检查 O 型圈的情况。替换有任何老化或压缩迹象的 O 型圈。
10.将泵接入系统。
警告：切勿在靠近高温源的地方使用。用风机对工作区域进行通风，并在通风良好的大房间内使用扩散泵。必要时还可以使用独立的呼吸器。
始终确保清洗操作在通风良好的大房间内进行。请戴上护目镜、手套和防护服。
油扩散泵故障处理
(1)扩散泵工作过程中冷却水必须保证畅通，停止加热后必须保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。
(2)泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。
(3)被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。
(4)泵如暂时不用，保管期间应保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀。并将冷却水套内的剩水吹净。保存场地的室温应在10C ~ 40C之间。
(5)泵在正常运行时如突然出现性能变坏，应先检查加热器是否正常。
(6)泵在长期工作后，性能会逐渐变坏，应定期检修。
a.泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理。
b.零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用丝绸蘸乙醚或丙酮进行擦洗， 并置于80C ~ 100C温度下烘干或用电吹风吹干。
c.处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。
